財政部唯一指定政府采購信息網絡發布媒體 國家級政府采購專業網站

服務熱線:400-810-1996

當前位置:首頁 »  政采公告 » 中央公告 » 單一來源公告

華中科技大學納米圖形發生系統單一來源公告

2020年06月30日 18:44 來源:打印

公告概要:
公告信息:
采購項目名稱納米圖形發生系統
品目

貨物/專用設備/專用儀器儀表/其他專用儀器儀表

采購單位華中科技大學
行政區域湖北省公告時間2020年06月30日 18:44
預算金額¥560.000000萬元(人民幣)
聯系人及聯系方式:
項目聯系人李老師
項目聯系電話87540659
采購單位華中科技大學
采購單位地址湖北省武漢市洪山區華中科技大學大學生活動中心A205室
采購單位聯系方式87540659,hustcgzx@hust.edu.cn
代理機構名稱詳見公告正文
代理機構地址詳見公告正文
代理機構聯系方式詳見公告正文

  根據《中華人民共和國政府采購法》等有關規定,現對納米圖形發生系統進行單一來源招標,歡迎合格的供應商前來投標。

 

項目名稱:納米圖形發生系統

項目編號:HZ20200046

項目聯系方式:

項目聯系人:李老師

項目聯系電話:87540659

 

采購單位聯系方式:

采購單位:華中科技大學

采購單位地址:湖北省武漢市洪山區華中科技大學大學生活動中心A205室

采購單位聯系方式:87540659,hustcgzx@hust.edu.cn

 

 

一、擬采購的貨物或者服務的說明:

隨著Si材料電力電子器件逐漸接近其理論極限值,利用寬禁帶半導體材料制造的電力電子器件顯示出比Si和GaAs更優異的特性,給電力電子產業的發展帶來了新的生機。相對于Si材料,使用寬禁帶半導體材料(以氮化鎵和碳化硅為代表)制造新一代的電力電子器件,可以變得更小、更快、更可靠和更高效。這將減少電力電子元件的質量、體積以及生命周期成本,允許設備在更高的溫度、電壓和頻率下工作,使得電子電子器件使用更少的能量卻可以實現更高的性能,是世界各國半導體研究領域的熱點。 已建成的微納加工平臺目前擁有400 m2工藝實驗室面積,現可以開展光刻輔助的勻膠、噴膠、烘膠、顯影、腐蝕、高溫擴散氧化退火、原子層沉積等工藝;工藝測試區主要有掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡、高低溫探針臺、半導體特性參數測試儀、大功率手動探針臺、功率器件分析儀等。因此,為了充分和現有平臺的條件進行結合,在制備半導體器件過程中還缺少最核心也是最重要的設備:納米圖形發生系統。該設備的購置將極大地提高現有微納平臺對的效率和科研的進度,為電力電子器件的研究提供保障。該設備的購置將為眾多學科領域特別是半導體、光學、材料、物理等領域的用戶研究提供支持。

 

二、采用單一來源采購方式的原因及相關說明:

納米圖形發生系統是加工納米結構器件的必備手段,該設備的購置將極大地提高現有微納平臺對的效率和科研的進度,為電力電子器件的研究提供保障,為眾多學科領域特別是半導體、光學、材料、物理等領域的用戶研究提供支持。

根據實驗室科研的必須要求,擬購置的設備必須同時滿足高分辨率(亞10nm)、高精度套刻、大小寫場靈活調節、低電壓加工能力、高分辨成像能力等技術指標。經調研,市面上僅德國RAITH GmbH 公司的eLINE PLUS納米圖形發生設備性能充分符合技術需求。該項采購符合《中華人民共和國政府采購法》第三十一條第一款“只能從唯一供應商處采購的”的情形。

 

三、開標時間:

 

四、擬定的唯一供應商名稱及其地址:

建發(武漢)有限公司

 

五、其它補充事宜

 

六、預算金額

預算金額:560.0 萬元(人民幣)

 

相關公告